TECHNOVISION TOP > 产品信息 > UV膜硬化装置／UV照射装置
提供200mm／8英寸对应装置和300mm／12英寸对应装置。由于是一边旋转工件一边照射，因此可以对晶片的所有部分进行均匀照射。
并搭载了敝社独有的高效率、小流量N2吹扫功能。N2的使用量与以往装置相比大大减少，并得到切实的置换效果。
这些特长，不仅以低耗电化、消费微量气体等，对降低装置的运行成本作出了巨大贡献，而且降低了装置成本，减少了费用昂贵的无尘室的设置空间等，综合性地提高了制造工序的效率。
（以上两项已申请专利）
200mm／8英寸对应
机型 UVC-408
尺寸 400 (W) × 665 (D) × 435 (H)
300mm／12英寸对应
机型 UVC-512
尺寸 650 (W) × 800 (D) × 980 (H)
本装置以黑光灯为硬化光源,适于少量生产及研究开发用途,是与200mm／8英寸晶片对应的廉价版机型。
由于光源被高密度分布,可以取得均匀无偏差的硬化效果。本装置具有与高压水银机型同等的功能(高压水银机型上搭载的N2吹扫功能、安全装置等可避免照射计时器及氧气损害硬化性能)。
