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■晶片容器、载具清洗装置
FOUP清洗装置～与FOUP、FOSB、SMIF匣盒对应
盒式清洗装置～小批量、研究开发、高端设备用特制
■光掩膜清洗装置
与大尺寸对应的装置～与PDP、大号光掩膜对应
与中尺寸对应的装置～对应范围至620×720
与小尺寸对应的装置～对应范围至460×360 或 300×300
■UV臭氧清洗装置
机型 UV-208～照射区域208×208
机型 UV-312～照射区域312×312
■超级清洗加热器
超纯水加热用QH系列(在线型)
洁净空气加热用SH系列(在线型)
■贴片机
切割用途
预切胶带/标准胶带共用装置
预切胶带专用装置
标准胶带专用装置
DAF切割整体型胶带对应装置
DAF(Die Attach Film)用途
DAF单体胶带
DAF切割整体型胶带
功能性胶带的粘贴
表面保护胶带/BG胶带
背面保护胶带
抗蚀膜
其他薄膜/胶带的粘贴
多种目的用途的粘贴
包装基板、玻璃、陶瓷、其他
双带贴带机(1台装置中安设2种胶带)
■晶片扩张装置/Expander
机型 TEX-21B～与125mm(5英寸)晶片对应
机型 TEX-218～与150mm-200mm(6-8英寸)晶片对应
■UV硬化装置
高压水银灯规格装置(强力型)
黑光灯规格装置
■组装相关辅助产品
夹环
备有4种嵌合时无方向性的双向夹环
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